전자빔용접기

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전자빔용접기(EBM)수리
설비 본래의 성능 유지와 정상적인 운용을 위하여 사전 예방점검과 수리 서비스를 실시하고 있습니다.
정기점검
수리보수
장기간 사용에 따른 설비의 노후화나 사용상태 또는 Maintenance 관리환경 등에 따른 설비 오작동을
사전에 방지하기 위하여 예방보전의 점검서비스 실시하고 있습니다.
사전 예방점검 항목
01
고전압전원

보조전원트레이
코크크로프트(가속전원)

02
제어반

인버터(가속전원/보조전원)
제어기판
시퀀스(Sequence)

03
전자총이동기구

X-RING
슬라이드시일
LM가이드
전자총이동용 Servo Motor

04
가공실배기시스템

X-RING
슬라이드시일
LM가이드

05
구동용 MOTOR

인덱스용 Servo Motor
회전 Table용 Servo Motor

06
전자총배기장치

터보분자펌프
메커니컬펌프
로타리펌프
고진공센서

07
전자총

음극 · Anode · 오리피스
컬럼밸브 · 소켓위치결정판

08
조작판넬

GOT

09
가공실

필터
Sputter Cover
Adapter Flange

10
진공밸브

가공실 Main 밸브
저진공센서

11
회전 TABLE

회전 Table
회전축
베어링
Bush